2024大灣區(qū)高能脈沖PVD高峰論壇在松山湖材料實驗室成功舉辦

12月14日，由松山湖材料實驗室、哈爾濱工業(yè)大學(xué)材料結(jié)構(gòu)精密焊接與連接全國重點實驗室以及等離子體放電團隊孵化的高能脈沖PVD電源企業(yè)新鉑科技(東莞)有限公司聯(lián)合主辦的“2024大灣區(qū)高能脈沖PVD高峰論壇”在松山湖材料實驗室會議中心成功舉行。本次會議邀請了近20位專家學(xué)者做邀請報告，共有清華大學(xué)、北京大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、華南理工大學(xué)、香港城市大學(xué)、松山湖材料實驗室、中國科學(xué)院金屬研究所、中國科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所、廣東省科學(xué)院新材料研究所、季華實驗室、華為、華星光電、捷嘉偉創(chuàng)、富士康、廣東匯成等百余所高校、科研院所和企業(yè)的專家學(xué)者250余人參加了本次學(xué)術(shù)會議，分享和探討高能脈沖PVD（HiPIMS）行業(yè)領(lǐng)域的研究進展，涵蓋半導(dǎo)體、航空航天、硬質(zhì)刀具、3C制造等多個領(lǐng)域，共同探討PVD行業(yè)難點。旨在推動校-企-研合作，利用高能脈沖磁控、高能脈沖弧賦能真空鍍膜行業(yè)技術(shù)升級，進而為PVD行業(yè)的發(fā)展注入新的活力。

等離子體放電團隊負責人、哈爾濱工業(yè)大學(xué)田修波教授作為大會主席主持了會議開幕式。松山湖實驗室黨委副書記/主任助理王玉文博士，哈爾濱工業(yè)大學(xué)材料結(jié)構(gòu)精密焊接與連接全國重點實驗室副主任亓鈞雷教授、廣東省真空學(xué)會理事長劉彭義教授、廣東匯成真空李志榮總經(jīng)理在開幕式上致辭。他們充分肯定了本次論壇對大灣區(qū)真空行業(yè)發(fā)展的必要性和迫切程度，大力稱贊了相關(guān)從業(yè)工作者近年來所做的努力與貢獻，并預(yù)祝大會圓滿進行。

等離子體放電團隊負責人、哈爾濱工業(yè)大學(xué)田修波教授主持開幕式

松山湖材料實驗室黨委副書記、主任助理王玉文博士致辭

哈爾濱工業(yè)大學(xué)焊接與連接全國重點實驗室副主任亓鈞雷教授致辭

廣東真空學(xué)會理事長劉彭義教授致辭

廣東匯成真空李志榮總經(jīng)理致辭

本論壇聚焦“高能脈沖磁控”、“脈沖弧”新技術(shù)，高校和研究院所代表匯報了高端制造領(lǐng)域的涂層制備與應(yīng)用，從頂層設(shè)計與底層邏輯角度剖析了HiPIMS的優(yōu)勢與局限性，展示了包括DLC、Ta-C、MAX相及多種金屬基涂層及等離子體特性的研究過程，探討了在表面防護、裝飾鍍及半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用潛力；企業(yè)代表根據(jù)行業(yè)發(fā)展情況，討論了相關(guān)行業(yè)的應(yīng)用背景和技術(shù)需求，并在大會上分享了相關(guān)技術(shù)在實際應(yīng)用過程中存在的問題及注意事項。田修波教授做了高能脈沖PVD電源的新進展、適配性及典型應(yīng)用案例的報告分享，并總結(jié)歸納了PVD所涉及到的行業(yè)發(fā)展相關(guān)問題。

會議期間，報告精彩紛呈，與會代表踴躍提問、積極發(fā)言，會場學(xué)術(shù)氣氛濃厚，來自高校、科研院所與企業(yè)家進行了充分溝通交流，達成多項合作意向，為大灣區(qū)真空行業(yè)發(fā)展注入新的活力，取得圓滿成功。

本文內(nèi)容源于：松山湖材料實驗室

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